脉冲溅射涂层系统

CC800®/9 MLT 6 (10) 系统技术数据

涂覆面积 Ø x h[mm]Ø400 x 400
(Ø650 x 400)
转台 Ø x 行星数[mm], 数量Ø400 x Ø130 x 6
(Ø650 x Ø130 x 10)
快速更换转台
机械或电动液压
溅射阴极个 [mm]4 x 500
最大装载尺寸Ø x h[mm]Ø400 x 800
(Ø650 x 800)
钻头装炉量 Ø6 mm x 60 mm1,800 (3,000)
刀片装炉量 12.7 mm x 3.5 mm4,920 (8,200)
最大装载重量[kg]250 (500)
循环时间[h]取决于工艺
工艺
双极脉冲溅射技术
基体预处理(离子刻蚀)
Booster和MF刻蚀
导电涂层
YES
非导电涂层
YES
非导电基体
YES
额定功率[kW]60
每炉次功率消耗[kWh]取决于工艺
外形尺寸 (w x l x h)[mm3]1.050 x 3.350 x 2.200
重量(空载)[kg]~ 3.000 – 3.300


CC800®/9 MLT

CC800/9 MLT适用于零部件、模具、冲头、以及需要有润滑功能的工具和零件的涂层。它不仅可以在不超过150℃的低温下沉积DLC涂层,而且尤其适用于在非导电基体上的涂层。此外,该系统还可生产许多传统的硬涂层,比如TiAIN,AlTiN涂层等。

通过使用脉冲等离子技术,使得在低温条件下也可以达到很高的涂层速度。因此,CC800/9 MLT同样非常适用于中型尺寸及大批量的经济涂层。

内置的等离子助推和脉冲偏压可以实现更高的离化率,因而,即使在低温下,也能形成很好的附着力。其温度设置可在150°到450°范围内。

和其它CemeCon溅射系统一样,此设备可形成光滑的、无液滴的、完美的涂层表面。


涂层量





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